Equipments

 両面マスクアライナー
Union PEM-800

電気配線、流路などの作製

 ECRスパッタ装置
ELIONIX EIS-220T

Pore作製、流路作製、電極作製

 ダイシング
disco DAD322

ウエハの切り出しに使用

 CVD
SAMCO PD-200STP-NP

SiO2成膜など

 UVクリーナー
SAMCO UV-1

基板洗浄、レジスト除去

 光学顕微鏡
OLYMPUS BX-61

サンプル観察

 簡易電子顕微鏡
HITACHI TM3030

表面・断面などの形状観察
レジストのエッチング耐性向上

 スピンコーター
ミカサ MS-A150

レジスト、イミド
前処理剤などの塗布

 FT-IR
ThermoFisher Nicolet iS-50

有機材料の主成分分析

 膜厚計
フィルメトリクス F20-UV

SiO2、Al2O3、SiN、レジストの膜厚測定

 電子線描画装置
JEOL JSM-7001

電気配線、流路などの作製

 走査電子顕微鏡
HITACHI S-4300

表面・断面などの形状観察

 光学顕微鏡
OLYMPUS BX-51

サンプル観察

 デジタル顕微鏡
HIROX KH-8700

PDMS流路内の液挿入確認、低倍サンプル観察

 スピンコーター
ミカサ MS-A100

レジスト、イミド、前処理剤などの塗布

 プラズマクリーナー
FEMTO

PDMS接着、SiO2表面の親水化など