Equipments

保有装置

谷口研保有装置

谷口研の装置の他、以下の組織の保有装置が利用可能です。

    ・産研共通利用装置

装置

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両面マスクアライナー | Union PEM-800

電気配線、流路などの作製

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ECRスパッタ装置 | ELIONIX EIS-220T

Pore作製、流路作製、電極作製

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ダイシング | disco DAD322

ウエハの切り出しに使用



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CVD | SAMCO PD-200STP-NP

SiO2成膜など

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UVクリーナー | SAMCO UV-1

基板洗浄、レジスト除去

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光学顕微鏡 | OLYMPUS BX-61

サンプル観察

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簡易電子顕微鏡 | HITACHI TM3030

表面・断面などの形状観察、レジストのエッチング耐性向上

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スピンコーター | ミカサ MS-A150

レジスト、イミド、前処理剤などの塗布



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FT-IR | ThermoFisher Nicolet iS-50

有機材料の主成分分析



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膜厚計 | フィルメトリクス F20-UV

SiO2、Al2O3、SiN、レジストの膜厚測定

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電子線描画装置 | JEOL JSM-7001

電気配線、流路などの作製&SANYU SPG-742

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走査電子顕微鏡 | HITACHI S-4300

表面・断面などの形状観察

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光学顕微鏡 | OLYMPUS BX-51

サンプル観察

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デジタル顕微鏡 | HIROX KH-8700

PDMS流路内の液挿入確認、低倍サンプル観察

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スピンコーター | ミカサ MS-A100

レジスト、イミド、前処理剤などの塗布



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プラズマクリーナー | FEMTO

PDMS接着、SiO2表面の親水化など

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UVオゾンクリーナー | あすみ技研

基板洗浄、リフトオフ後のレジスト除去

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